三氟化氮
發布時間：2021-09-08 15:33:25 瀏覽次數：4080
化 學 式：NF3
純度規格：4N6
包 裝：47L / 470L / Bundle / ISO
重 量：20kg / 200kg / 320kg / 4t / 6t / 8t
三氟化氮（NF3）的主要應用：
IC方面：由于作為半導體工業中氣體清洗劑的全氟烴（PFC）對環境有害，近年來有逐漸被三氟化氮（NF3）取代之勢。使用NF3作為化學蒸氣沉積（CVD）箱清洗劑，與全氟烴相比，可減少污染物排放量約90%，且可顯著提高清洗速度，從而可提高清洗設備能力約30%。
LCD方面：NF3還可用作蝕刻劑，也用于液晶顯示器（LCD）的加工。為此，近年來NF3需求量急劇增長。
太陽能電池：NF3作為蝕刻和清洗氣體也在太陽能電池制造行業廣泛應用。
