發布時間:2021-06-19 11:40:13 瀏覽次數:749
近日,第15屆北京發明創新大賽頒獎會在京舉行,中國船舶集團第七一八研究所“高純六氟化鎢”項目經過激烈角逐,從1800余個參賽項目中脫穎而出,繼2020年榮獲全國發明展覽會金獎后,再次斬獲金獎。
高純六氟化鎢氣體是電子半導體產業的關鍵原材料之一。七一八所圍繞高純六氟化鎢氣體制備關鍵技術開展研究,其獨特的制備生產工藝可使氣體純度達到國際領先水平,有效填補了國內空白,打破了國外壟斷,生產出的派瑞牌高純六氟化鎢產品已廣泛應用于國內外知名電子企業,有力推動了我國高純電子特種氣體和超大規模集成電路制造工業的發展。
七一八所高度重視電子特種氣體的研發及產業化,創新成果不斷涌現,多次打破國外企業技術壟斷。此次獲獎,進一步彰顯了七一八所派瑞特種氣體科技創新的實力和能力,七一八所也將不斷開拓進取,加大科研創新投入,為解決關鍵材料的“卡脖子”問題,保障國家電子半導體產業自主安全作出應有貢獻。