近日，2021年度河北省科學技術進步獎總評結果出爐，中國船舶集團第七一八研究所“集成電路用含氟高純電子氣體制備技術與產業化”榮獲科學技術進步獎一等獎。

        集成電路產業競爭事關國家戰略安全，電子特氣在集成電路制造的離子注入、蝕刻清洗、薄膜沉積等多個關鍵工藝都是不可或缺的關鍵原材料之一，被稱為芯片行業的“糧食”和“血液”。七一八所特氣項目組在國家重大科技專項和河北省科技計劃項目支持下，以“服務國家戰略、引領行業發展”為己任，突破國外技術壟斷，攻克了含氟高純電子氣體國產化“卡脖子”技術難題，產品已規?；瘧糜诙嗉抑饕酒圃焐?，實現了國內產業鏈自主供應，保證了國家集成電路產業鏈安全。

        該獎項的獲得，充分體現了七一八所在國內集成電路用高純電子氣體領域的地位。七一八所將繼續以解決電子特氣“卡脖子”問題為己任，持續進行核心技術攻關，將高純電子氣體國產化開發與集成電路生產工藝深度融合，踔厲奮發、篤行不怠，奮力譜寫科技創新發展的新篇章！