近日，中國船舶集團第七一八研究所與中船派瑞特氣股份公司聯合申報的“集成電路用含氟高純電子氣體制備技術與產業”項目榮獲中國技術市場協會金橋獎突出貢獻項目獎。

        含氟高純電子氣體是芯片制造工藝過程中不可替代的關鍵材料，其合成、純化、檢測等生產工藝具有極高的技術難度和特殊要求，長期以來被外國壟斷。“集成電路用含氟高純電子氣體制備技術與產業”項目攻克了含氟高純電子氣體合成、純化、雜質檢測和高效混配等關鍵技術難題，形成了含氟高純電子氣體國產化成套技術和裝備，在國內率先實現規?；a，三氟化氮、六氟化鎢等高純電子氣體性能指標達到或超過國際同類產品，解決了含氟高純電子氣體核心技術問題，實現了國內產業鏈自主供應，為保障國家集成電路產業鏈安全提供了強有力的支撐，也因此榮獲中國技術市場協會金橋獎突出貢獻項目獎。

        背景知識：中國技術市場協會金橋獎由國家科學技術獎勵工作辦公室批準設立，旨在表彰獎勵在技術市場建設、科技成果轉化、促進科技進步和高新技術產業化工作中涌現的先進集體、個人和優秀轉化項目。該獎項是經過國務院清理規范評比達標表彰工作聯席會議審核后決定保留的獎項，是全國技術市場領域權威獎項，具有權威性和公正性。